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中國科學院上海硅酸鹽研究所曾毅研究員團隊近日研制出國產(chǎn)高分辨電子背散射衍射儀（EBSD）樣機，這標志著我國在電子顯微鏡相關分析測試儀器領域取得突破，為材料科學研究和工業(yè)應用提供技術支撐。

作為掃描電子顯微鏡的關鍵附件，EBSD能在微米尺度內(nèi)高精度實現(xiàn)微區(qū)晶體學顯微結構分析。目前，全球僅有4家國外公司掌握該設備的制造技術。面對技術壁壘，曾毅帶領團隊攻克了菊池花樣標定方法、sCMOS（科學級互補金屬氧化物半導體）相機、動態(tài)真空密封等多項關鍵技術難題，實現(xiàn)了從硬件到軟件的全方位創(chuàng)新。

在研發(fā)過程中，團隊不僅從設備應用者轉(zhuǎn)型為儀器研制者，還創(chuàng)新性地提出“局部菊池帶檢測（LKBD）”方法，使平均角度偏差下降了38.5%，顯著提高了條帶識別精度；開發(fā)了基于“晶面間距高精度計算（誤差<5%）”的輔助標定新方法，優(yōu)化了菊池極篩選策略，將平均取向計算精度提升50%以上……這些技術的突破，有效保障了國產(chǎn)EBSD系統(tǒng)的準確性和可靠性。

據(jù)團隊介紹，國產(chǎn)電子背散射衍射儀樣機的研制成功，實現(xiàn)了花樣標定、相鑒定、面分布采集等進口設備的基本功能，有望提升我國在高端材料表征儀器領域的競爭力。